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KLA-Tencor Surfscan SP2 顆粒檢測儀是一款先進(jìn)的掩模和晶圓檢測設(shè)備，廣泛應(yīng)用于集成電路(IC)制造過程中的缺陷檢測與分類。 該系統(tǒng)采用先進(jìn)的光學(xué)、電學(xué)和機(jī)械組件，能夠檢測并糾正各種類型的掩模和晶圓上的缺陷。 Surfscan SP2使用專li技術(shù)和高精度成像技術(shù)，能夠在微觀水平上捕捉細(xì)節(jié)，并與參考模型進(jìn)行比較，從而實現(xiàn)對掩模和晶片表面制造缺陷的可靠檢測和識別

KLA-Tencor SFS6420 顆粒檢測儀是一種用于晶圓檢測和計量的系統(tǒng)，廣泛應(yīng)用于半導(dǎo)體制造領(lǐng)域。該設(shè)備由KLA-Tencor公司生產(chǎn)，具有多種功能和特點。 功能與應(yīng)用： 表面分析：SFS6420是一種多功能的表面分析工具，能夠檢測、計數(shù)和測量亞微米級顆粒，適用于多晶硅和鎢等粗糙表面。 缺陷檢測：該系統(tǒng)可以進(jìn)行高分辨率的缺陷檢測，包括掩模對準(zhǔn)和覆蓋精度的檢測。