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晶圓檢測(cè)儀

簡(jiǎn)要描述:THERMA-WAVE TP 630 晶圓檢測(cè)儀是一種先進(jìn)的晶圓測(cè)試和計(jì)量設(shè)備,廣泛應(yīng)用于半導(dǎo)體、數(shù)據(jù)存儲(chǔ)和光伏產(chǎn)業(yè)。該設(shè)備具備多種尖duan技術(shù),能夠提供高精度的測(cè)量結(jié)果和詳細(xì)的圖像。TP 630 設(shè)備具有紅外激光掃描光學(xué)器件和雙色高溫計(jì),可以測(cè)量晶圓厚度、地形和表面粗糙度等參數(shù),最大吞吐量為每小時(shí)600個(gè)晶圓。

  • 產(chǎn)品型號(hào):THERMA-WAVE TP 630
  • 廠商性質(zhì):經(jīng)銷商
  • 更新日期:2024-09-23
  • 訪  問  量:174

詳細(xì)介紹

THERMA-WAVE TP 630 晶圓檢測(cè)儀


是一種先進(jìn)的晶圓測(cè)試和計(jì)量設(shè)備,廣泛應(yīng)用于半導(dǎo)體、數(shù)據(jù)存儲(chǔ)和光伏產(chǎn)業(yè)。該設(shè)備具備多種尖duan技術(shù),能夠提供高精度的測(cè)量結(jié)果和詳細(xì)的圖像。


TP 630 設(shè)備具有紅外激光掃描光學(xué)器件和雙色高溫計(jì),可以測(cè)量晶圓厚度、地形和表面粗糙度等參數(shù),最大吞吐量為每小時(shí)600個(gè)晶圓。此外,它還利用各種接觸和非接觸計(jì)量技術(shù),包括現(xiàn)場(chǎng)實(shí)時(shí)晶圓測(cè)量,以確保精確的結(jié)果。


TP 630 XP 版本則進(jìn)一步增強(qiáng)了其功能,配備了先進(jìn)的紅外成像技術(shù)和分析技術(shù),能夠快速準(zhǔn)確地分析復(fù)雜的三維結(jié)構(gòu),并且具備高精度的運(yùn)動(dòng)和定位精度。這種設(shè)備特別適用于需要高效生產(chǎn)能力和高速度的制造環(huán)境。


此外,TP 630 還支持傳統(tǒng)的200毫米硅晶圓以及新的300毫米硅晶圓,使其在不同尺寸的晶圓上都能進(jìn)行有效的測(cè)試和計(jì)量。該設(shè)備設(shè)計(jì)堅(jiān)固可靠,適用于潔凈環(huán)境和具有挑戰(zhàn)性的工業(yè)環(huán)境。


總之,THERMA-WAVE TP 630 晶圓測(cè)試儀憑借其高精度、多功能性和強(qiáng)大的計(jì)量能力,成為半導(dǎo)體制造和研究領(lǐng)域中不ke或缺的工具。


產(chǎn)品概述

高精度、高重復(fù)性和高速生產(chǎn)能力

設(shè)計(jì)用于測(cè)量模具、結(jié)構(gòu)和微米的開創(chuàng)性能力

支持高達(dá)300毫米晶圓的離子注入測(cè)量技術(shù)

主要功能

自動(dòng)化晶圓測(cè)試和計(jì)量設(shè)備

提供高分辨率成像和多傳感器分析

紅外激光掃描光學(xué)器件和雙色高溫計(jì)測(cè)量晶圓厚度、地形、表面粗糙度等

應(yīng)用領(lǐng)域

半導(dǎo)體制造和研究應(yīng)用

數(shù)據(jù)存儲(chǔ)和光伏產(chǎn)業(yè)

技術(shù)特點(diǎn)

先進(jìn)的紅外成像技術(shù)和晶圓過程控制分析技術(shù)

包括高精度的運(yùn)動(dòng)和定位精度、強(qiáng)大的圖形用戶界面以及用戶可配置的設(shè)計(jì)



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